湖南派美科特种气体有限公司
三甲基硼|三甲基硼混合气|TMB气体在国内半导体芯片行业的运用
2023-01-04 17:32
湖南利科德能源科技公司提供的三甲基硼为无色气体，在空气中能自燃。与氧化剂反应剧烈， 极微溶于水，易溶于乙醇和乙醚。遇高温、火种、空气、氧化性气 体、氧化剂均有引起燃烧爆炸的危险。三甲基硼烷混合气（混氢气、氮气等）、TMB混合气体。
| 三甲基硼烷混合气体 | |||
| 气体名称 | 混合气体 | 混合比率 | |
| 三甲基硼烷 | TMB / H2 ,N2 , Ar , SiH4 | 0.1%~10% | |
包装规格：4L、8L、44L、47L钢瓶包装，规格为2kg、20kg/瓶
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