湖南远创气体有限公司

三甲基硼|三甲基硼混合气|TMB气体在国内半导体芯片行业的运用

2023-01-04 17:32
湖南利科德能源科技公司提供的三甲基硼为无色气体,在空气中能自燃。与氧化剂反应剧烈, 极微溶于水,易溶于乙醇和乙醚。遇高温、火种、空气、氧化性气 体、氧化剂均有引起燃烧爆炸的危险。

三甲基硼烷混合气(混氢气、氮气等)、TMB混合气体。


三甲基硼烷混合气体
气体名称混合气体混合比率
三甲基硼烷TMB / H2 ,N2 , Ar , SiH40.1%~10%

包装规格:4L、8L、44L、47L钢瓶包装,规格为2kg、20kg/瓶



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