乙硼烷|B2H6|硼烷和半导体芯片行业运用技术

电子级乙硼烷，化学式为B2H6，属于无机化合物，是目前能够分离出的最简单硼烷，常温下外观为无色气体状，有特殊臭味，有剧毒，易水解，易溶于二硫化碳。乙硼烷在潮湿空气中易爆炸，室温下可分解，能与多种有机溶剂及金属发生剧烈反应，因此乙硼烷存储条件要求高，需要存储在低温、干燥环境中，并远离热源、明火以及氧化剂、卤素等物质。

工业上乙硼烷制备通常是在真空条件下，以氢化钠、三氟化硼为原料，在有机溶剂中反应制得粗品，再经冷凝提纯等工艺得到高纯产品，副产物为氟化钠。乙硼烷其他制备方法还有：以硼氢化钠、硫酸为原料反应制得；以四氢硼酸钾、磷酸为原料反应制得等。乙硼烷可用作掺杂源，用于半导体产业中；用作高能燃料，用于火箭、导弹制造中；用作有机合成原料，用于化工产业中；用来制备高纯度硼单晶；还可用于制药、金属焊接等领域。其中，半导体产业是乙硼烷的重要下游市场。