湖南派美科特种气体有限公司
产品详情
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充装容器 ：47 L cyl, 16 cyl bundle, 440 L, 20 ft ISO, 40 ft ISO
阀门种类 ：满足客户不同需求
NF3电子级三氟化氮 4N-4N5
应用
三氟化氮是在制造半导体，液晶显示器，太阳能电池的化学气象积淀，(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)工艺中，用于清除舱室内壁残留物的气体。
产能
2000t/年（4600吨项目建成后可达5000t/年）
产品指标
项目名称 | NF3 10-2 | CF4 10-6 | N2 10-6 | O2+Ar 10-6 | CO 10-6 | CO210-6 | N2O 10-6 | SF6 10-6 | HF 10-6 | H20 10-6 |
GB/T 21287-2007 | ≥99.99 | ≤50 | ≤10 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤1 | ≤1 |
Q/CHC 001-2020 | ≥99.99 | ≤40 | ≤5 | ≤3 | ≤1 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤1 | ≤1 |
包装规格
钢瓶体积 | 43L/47L | 440L/470L | 20ft ISO | 40ft ISO |
钢瓶容量 | 20kg | 200kg | 4000kg | 8000kg |
瓶阀规格 | CGA330/DIWW640/JIS22R | CGA330/DISS640/JIS22R | DISS640 | DISS640 |
关键词：气体产品、电子特气